Características clave:
• Grabado de haz de iones de precisión: logra una modificación de superficie uniforme y de bajo daño, ideal para seccionar transversalmente, pulir y adelgazar materiales duros y blandos.
• Deposición de película delgada: admite recubrimientos de alta pureza con metales o materiales funcionales, lo que garantiza una cobertura uniforme y una contaminación mínima.
• Funcionamiento criogénico y ambiental: compatible con la protección de muestras a baja temperatura, evitando daños estructurales en materiales sensibles.
• Alta estabilidad y control: ofrece control fino del haz, rasterización automatizada y monitoreo de procesos para obtener resultados reproducibles.
• Capacidades de integración: se pueden combinar con sistemas de criotransferencia (por ejemplo, series LSCT) para un flujo de trabajo fluido desde la preparación de la muestra hasta la microscopía electrónica.
Aplicaciones típicas:
• Ciencia de materiales: análisis de superficies e interfaces, preparación transversal de metales, cerámicas y compuestos.
• Semiconductores y microelectrónica: análisis de fallas de chips, corte transversal de FinFET e inspección avanzada de empaque.
• Ciencias de la vida y nanotecnología: crioadelgazamiento de muestras biológicas, preparación de nanopartículas y materia blanda delicada.
• Materiales energéticos: examen de electrodos de baterías, catalizadores de pilas de combustible e interfaces de electrolitos sólidos.